ＥＤＸの定量分析の歴史

どうも僕です．

何から書こうか迷う今日この頃です．ＥＤＸスペクトラムの波形処理について書こうか，そんなしょーもない事は無視して定量分析補正法について書こうか，迷ってます．まぁ両方書きたいんだけどね．優先順位を決めなきゃ・・・

定量分析も含めてＥＤＸに関する歴史のおさらいでもしよう！

戦後１９４０年代に，フランス（だったと思う）のPh.D Studentだった，R.Castaingとその先生によって，SEM-EDX(WDXかも・・)の基本原理の発表がありました．本質的な部分は現在と変わっていないみたいです．

１９５０年代は装置の開発かな？日本やフランスやそれ以外の国でも開発に取り組んだはず．Castaingはフランス人だから，Camecaが現在でも有名なのはCastaingの影響力があったのかもねぇ．．．．

１９６０年代になって，定量精度をもっと上げることが課題になったので，定量分析に関する研究が多数行われました．その成果として，ZAF補正やBence-Albee補正が誕生しました．

１９７０年代になって，大型コンピュータを使って定量分析の補正計算を処理するようになりました．たぶん，それ以前は，手計算だったのかも・・・

１９８０年代になって，コンピュータの処理能力が向上して，データ処理が容易になった

１９９０年代になって，φ（ρｚ）補正が提案されました（たぶん）

２０００年代以降の歴史はよく知りません．．．

とにかくSEM-EDXの基本原理は戦後まもなく完成したって事は言えるでしょう．それ以降，現在に至るまでは，IT業界の発展と共にEDXの充実してきたって程度の認識でよいような気がします．

おしまい