2010/10/10

EDXの定量分析2

どうも僕です

EDXによる定量分析には,大きく分けて二通りあります.一つめは,前の記事で書いた相対強度を求める方法です.もう一つは,実は標準試料を用いなくても定量分析が行えます.それをスタンダードレス法(standardless correction)と呼びます.

もう少し詳しく書くと,未知試料の各元素のX線強度から理論的に補正計算を行い,合計濃度が100%になるように定量分析値を出す補正方法のことをスタンダードレス法と呼びます.また,あらかじめ取り込んでおいた標準試料のX線強度を利用した半スタンダードレス法というものも考案されております.標準試料の特性X線を取り込む手間が省けるので,短時間で定量分析が行えるのがスタンダードレス法の利点であるのですが,正直言ってオススメできない.その理由は,誤差が大きすぎて「真」の定量分析とはほど遠い分析値しか得られないためであります(ブログ管理人の経験ですけどね).
 また今度,前の記事で書いた定量分析法とスタンダードレス法の分析値の違いについて触れておきたいと思っております.

さて,前の記事で書いた相対強度を求めてからの補正計算法なのですが,数多く提案されております.その中で有名なのが,
 ZAF補正
 Bence-Albee補正
 φ(ρz)補正
の3つです.また,あまり使われていないけど検量線法などもあります.

どの補正法を使うにしても,重要なのはX線スペクトラムの波形処理を正確に行うことなのです.波形処理が不十分であれば,正しい定量分析は行えないと思っております.まぁでも,それについてはユーザーサイドで要求する分析精度の程度に依存しますけどね.

次の記事からは定量分析(波形処理~補正計算)についてゆっくりと書いてみようと思います.

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