どうもボクです.
EDXの分析手順を簡単にフローチャートで書こうと思います.編集が面倒なんで,すべてテキストです;;
定量したい元素の確認
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標準試料の選択
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分析条件の設定
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標準試料のスペクトラムの収集と保存
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標準試料リファレンスファイルの作成
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未知試料のスペクトラムの収集(と保存)
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補正計算(ZAF, Bence-albee, φ(ρz))
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定量結果
EDXを用いた定量分析では,定量したい元素のスタンダードファイルをあらかじめ作成・保存しておくひつようがあります.フツウは,定量したい元素って,だいたい決まっているから,それぞれの元素を含むような標準試料を用意しておけば良いと思います.また,X線発生の観点から言えば,標準試料と未知試料は似たような物質の方が良いと思います.例えば,未知試料が金属なら,標準試料も金属にするとか,,,,
あと,未知試料をはかっているときに,予想外の元素を認識する場合があります.そういう場合は困りますね,,,標準物質を取り扱っているメーカーなどに問い合わせるのが一番いいと思います.
定量分析を行う際の基本は,未知試料のスペクトラムの収集と標準試料のそれの分析条件を完全に一致させることです.ここが一番難しい.使い方を習った程度で定量分析が行えるとはとうてい思えない.EDXに関わらず,あらゆる分析装置に共通するのではないでしょうか?ちゃんと目的意識を持ちながら分析に取り組むことが大切だと思います.
おわり
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