ＥＤＸ検出器

どうもボクです．

今回は，ＥＤＸ検出器について簡単に触れたいと思います．

ＥＤＸ検出器って，一般的には，Ｓｉ（Ｌｉ）検出器やシリコンドリフト検出器などの半導体検出器で構成されています．ＥＤＸ検出器に飛び込んできたＸ線は，そのエネルギーに比例した数の電子ー正孔対を作るので，それを電流として取り出すことによって飛び込んできたＸ線のエネルギーを知ることができるっていうものなのです．

Ｓｉ（Ｌｉ）検出器（Silicon detector, Solid State Detector: SSD)っていうのは，シリコン単結晶にリチウムをドリフトさせて作った半導体検出器です．ふつうは，リチウムの拡散の防止と電機ノイズを低減させるために液体窒素で常時冷却しておかなければなりません．

シリコンドリフト検出器（silicon-drift detector:SDD)っていうのは，通常のＳｉ（Ｌｉ）検出器と比べて，数十倍高い計数率で測定ができるので，プローブ電流を高くして短時間で分析ができるというものです．最近，このタイプの検出器が多くの企業で製造されております．ただ，エネルギー分解能は，Ｓｉ（Ｌｉ）検出器と同等なのに対して，低エネルギー側のＸ線の感度は低いらしい．液体窒素冷却が不要なので，ユーザーにとっては有り難いものかもしれない．