ＥＤＸの概要

どうも，僕です．

ＥＤＸについて，いろんな事を書いてみよう！というスタイルで，ブログを開設しました！

じゃ，まずＥＤＸって何なの？

energy dispersive X-ray spectrometryの略なんだけど，ＥＤＸとよんだりＥＤＳと読んだりします．
日本語は，エネルギー分散型Ｘ線分光器とかエネルギー分散型Ｘ線分光法とか，もうちょっと略して，エネルギー分散法とかって呼ばれてますね．
まぁ要するにですね，エネルギー分散型Ｘ線分光器を使ったＸ線分光法なのですよ．

こういうＥＤＸの検出器というのは，電子顕微鏡（ＳＥＭ）などに取り付けられています．

じゃあ，ＳＥＭって何なの？ってなると，説明しないといけないのかな？ちょっとブログの趣旨に反するんですが，ちょっと書いてみよう．

話が長くなるんですが，，，，
ＳＥＭってのは，電子銃室にＷ（タングステン）フィラメントなどが設置されていて，そこに大きく電圧をかけてやるんです．だいたい２０ｋＶ前後かな？それから，フィラメントにも電流（エミッション電流）を流してやるのですが，電圧をかけられたことによって，電子が引っ張られるのです．そういう電子の束のことを電子線と呼んだりします．electron probeって英語で書きます．
そうやって引っ張られた電子線は，ＳＥＭの鏡筒を通過するんだけど，いろいろな電気的な操作によって絞られていくのです．最終的には，試料にぶちあたるのですが，このとき直径が数百オングストロームとかまで絞られているらしい．人によっては１ミクロンの直径だと言っている人もいるけど，まぁ大差ないでしょ．
そして，電子線が試料にぶち当たったときに，いろんな物が試料から発生します．２次電子（secondary electron）とか、反射電子（backscatter electron）とか特性Ｘ線（characteristic x-ray）とかね．
ＥＤＸは，この特性Ｘ線を半導体検出器によって検出して，様々な分析を行う分析法と言えるでしょう．

いっぱい説明すると疲れますね！
じゃ，また今度，なんか書きます，ばいばいノ