ＥＤＸスペクトラム

どうもボクです．

ＥＤＸを用いた化学分析っていろいろあるんだけど，その基本原理は簡単で，検出器に入射してきたＸ線をああだこうだって感じで使い分けて，試料の定性分析や定量分析を行います．

分析モードは大きく分けて，点分析，線分析，面分析の３つに大きく分類できるかな？
なにかしらの試料に電子線を照射して，検出されたＸ線は波形データとして出力されるのですが，それは以下のような波形（＝スペクトラム～）としてコンピュータ上に映し出されます．
rochester.eduのサイトから入手した画像です

上のスペクトラムをご覧になるとよく分かると思うのですが，何本かの山が見えますね？これをピークと呼んだりすることが多いです．鉄（Ｆｅ）とチタン（Ｔｉ）と酸素（Ｏ）のピークが見れます．このようにして，電子線を照射した部分の構成元素の概要が大体分かります．さらに，その部分がどのような元素で構成されているのかが判れば，試料の定性分析が行えます．鉄やチタンを多く含み，酸素も含むので，Ｆｅ－Ｔｉ酸化物と言えることができるでしょう．ただ，その物質が何であるかは，判断できません．厳密に物質名を特定するためには，定量分析が不可欠となりますが，その事に関しては，また今度書くことにします．

後日，ＥＤＸスペクトラムについて補足をしたいと思います．